精密檢測設備

晶圓級自動化視覺檢測系統確保了半導體 IC 的最高質量和可靠性，並使製造商能够不斷提高產量。這些系統採用精密光學和模擬電路來識別晶圓製造過程中的最小缺陷。隨著最新工藝節點的進步，光刻尺寸不斷縮小，製造商需要最高的缺陷靈敏度。這一要求強調了視覺系統中需要大量雜訊濾波的模擬和混合訊號電路。隨著電力需求的新增，濾波器變得太大而無法與這些系統相容。為了跟上半導體晶圓製造的進步，需要一種新的供電方法。

供電網路

自動化視覺系統設計工程師可以從重新考慮 PDN 開始，降低敏感晶圓檢測系統中的雜訊。關鍵的第一步是將系統從過時的 12V 母線轉換到更節能的 48V 母線，以改善效率和熱問題。然而，為了完全達到晶圓檢測的要求，必須採用一種固有雜訊較低的解決方案。採用正弦振幅轉換（SAC）拓撲結構的 Vicor BCM 固定比率轉換器可降低雜訊，並能讓製造商使用更少的濾波。此外，緊湊的尺寸和輕薄的外形簡化了熱管理，從而簡化了檢測系統的機械設計。